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双面研磨/抛光机
YJ-9.6B10L/PE&YJ-9B5L/PE
被加工件最大直径：180mm
机器重量：约1900kg
本机器主要适用于硅片、石英晶片、光学晶体、玻璃、宝石、铌酸锂、砷化镓、陶瓷片等薄脆金属或非金属的研磨或抛光。 The machine is suitable for double side lapping and polishing of thin and fragile metal or non-metal parts such as silicon wafer, crystal quartz, optical crystal, glass, jewelry, lithium niobium acid, gallium arsenide, and ceramic wafer, etc.
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产品描述
参数
- 机器采用四电机驱动，游星轮在上下盘之间做行星运动，工件上下表面同时均匀研磨/ 抛光，生产效率高；
- 机器采用内齿圈升降，内齿圈升降采用点动控制方式操作，使操作者能自由控制齿圈升降高度；
- 下盘不抬升，设置了调节水平的三点支承结构，可对下盘的偏斜进行微调，以提高机器精度；
- 电机采用变频调速器控制，能在有效设置范围内以任意速度工作；
- 气动系统采用优质气控元件，上盘、齿圈升降平稳无爬行现象，上盘下降过程中，设置了快降和缓降；
- 太阳轮、齿圈皆可以单独调速，能灵活调整工艺参数，工艺适应性强。
| 项目 | 规格 | 项目 | 规格 |
| YJ-9B5LE | YJ-9.6B10LE | ||
|
上盘(mm) 下盘(mm) (外径x内径x厚度) |
φ638xφ222x40 (上盘) φ638xφ222x40 (下盘) |
上盘(mm) 下盘(mm) (外径x内径x厚度) |
φ622xφ386x40 (上盘) φ622xφ386x40 (下盘) |
| 安装游星轮个数 | 5 | 安装游星轮个数 | 10 |
| 被加工件最大厚度(mm) | 20 | 被加工件最大厚度(mm) | 20 |
| 被加工件最大直径(mm) | 180 | 被加工件最大直径(mm) | 100 |
| 下盘转速 | 0-50r/min | 下盘转速 | 0-50r/min |
| 上盘转速 | 0-40r/min | 上盘盘转速 | 0-40r/min |
| 内齿圈抬升行程 | 0-25mm | 内齿圈抬升行程 | 0-25mm |
| 主电机 | 3相 3kw可增至5.5kw 1450 r/min | 主电机 | 3相 3kw 1450 r/min |
| 砂泵电机 | 120W | 砂泵电机 | 120W |
| 抛光时间设定范围 | 0-9999s | 抛光时间设定范围 | 0-9999s |
| 气源压力 | 0.5-0.6Mpa | 气源压力 | 0.5-0.6Mpa |
| 工作压力 | 0.45-0.6Mpa | 工作压力 | 0.45-0.6Mpa |
| 装机容量 | 约6KVA可增至9KVA | 装机容量 | 约6KVA |
| 外形尺寸(长x宽x高) | 1400x970x2340 (mm) | 外形尺寸(长x宽x高) | 1400x970x2340 (mm) |
| 设备质量 | 约1900kg | 设备质量 | 约1900kg |
| 设备每平方米重量 | 约1400kg/m2 | 设备每平方米重量 | 约1400kg/m2 |
| 设备要求地面承重 | 1550kg/m2 | 设备要求地面承重 | 1550kg/m2 |
| YJ-9B5PE | YJ-9.6B10PE | ||
|
上盘(mm) 下盘(mm) (外径x内径x厚度) |
φ638xφ222x40 (上盘) φ638xφ222x40 (下盘) |
上盘(mm) 下盘(mm) (外径x内径x厚度) |
φ622xφ386x40 (上盘) φ622xφ386x40 (下盘) |
| 安装游星轮个数 | 5 | 安装游星轮个数 | 10 |
| 被加工件最大厚度(mm) | 20 | 被加工件最大厚度(mm) | 20 |
| 被加工件最大直径(mm) | 180 | 被加工件最大直径(mm) | 100 |
| 下盘转速 | 0-50r/min | 下盘转速 | 0-50r/min |
| 上盘转速 | 0-40r/min | 上盘盘转速 | 0-40r/min |
| 内齿圈抬升行程 | 0-25mm | 内齿圈抬升行程 | 0-25mm |
| 主电机 | 3相 3kw可增至5.5kw 1450 r/min | 主电机 | 3相 3kw 1450 r/min |
| 砂泵电机 | 120W | 砂泵电机 | 120W |
| 抛光时间设定范围 | 0-9999s | 抛光时间设定范围 | 0-9999s |
| 气源压力 | 0.5-0.6Mpa | 气源压力 | 0.5-0.6Mpa |
| 工作压力 | 0.45-0.6Mpa | 工作压力 | 0.45-0.6Mpa |
| 装机容量 | 约6KVA可增至9KVA | 装机容量 | 约6KVA |
| 外形尺寸(长x宽x高) | 1400x970x2340 (mm) | 外形尺寸(长x宽x高) | 1400x970x2340 (mm) |
| 设备质量 | 约1900kg | 设备质量 | 约1900kg |
| 设备每平方米重量 | 约1400kg/m2 | 设备每平方米重量 | 约1400kg/m2 |
| 设备要求地面承重 | 1550kg/m2 | 设备要求地面承重 | 1550kg/m2 |
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